總的來說,他們原理都是一樣的,即在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
針對目前勻膠機市場品牌眾多,良莠不齊現象,筆者結合自己多年從事勻膠機技術服務的實際經驗。幫助廣大用戶提高辨別能力,為用戶提供了直觀明確的選擇標準。
1、旋轉速度:轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤勻膠機圖冊差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。國產的大部分低端勻膠機只能提供轉速范圍,并不能標定實時的轉速。
2、真空吸附系統的構造
真空泵一定要無油的,壓力標定準確,國內生產的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而產生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統造成*堵塞。用過國產勻膠機的客戶常常會關心怎么清洗的問題,這一點許多國外的勻膠機做得不錯,他們有通過聯動機制,如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉。
3、材質的選擇
勻膠機對于半導體化工行業的應用來說,材質的選擇尤為關鍵,國產的大部分勻膠機采用的是鐵板噴漆或者普通塑料材質,因為這種材質的成本很低。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋涂時,時高時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材質。這兩種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優點。
勻膠機的特點
(1)電機勵磁和電樞分開供電。勵磁用12伏直流穩壓電源供電,電樞用運放控制調速,它比可控硅調速*,故其轉速在500-8000轉/分范圍內非常穩定
(2)本勻膠機有兩檔轉速。在啟動之后,先以低速運轉,然后自動變到高速運轉。兩檔速度及運行時間分別可調。
(3)本勻膠機采用光電檢測,數字電路測速,對電機的轉速檢測快速準確。電機穩速方面采用了光電隔離的精密負反饋電路,使整機在高達8000rpm以上轉速時仍十分穩定,有力的保證了勻膠質
(4)“吸片”采用電子開關控制電磁閥完成氣路通斷,這樣適合流水線工藝,一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作,提率。
(5)勻膠機定時采用可調定時電路控制,面板上調節timer旋鈕即可改變勻膠時間。
(6)在安裝結構上,采取了減震措施,因而勻膠機在運轉時噪音很低。
(7)電磁閥與電機運行有連鎖功能,電磁閥未動作不能啟動電機運行,本次勻勻膠機未停不能進行下次勻膠,若運行中誤按“control”鍵也不能停止吸氣,即不會產生跑片。